메뉴 닫기

우리나라에서 이런 기술이?!

제목 : “차세대 반도체 공정에 적용”..UNIST, 미세 패턴 제어기술 개발

출처 : 연합뉴스

요약 : 울산과학기술원(UNIST) 연구진이 차세대 반도체를 더 빠르고 저렴하게 만드는 공정을 개발했다. 김소연 에너지 및 화학공학부 교수팀은 ‘나노 모자이크 코팅’을 이용해 블록 공중합체의 복잡한 패턴을 제어할 수 있는 기술을 개발했다고 23일 밝혔다. 반도체로 더 성능 좋은 전자기기를 만들려면 크기가 작아져야 하고, 회로 폭도 더 가늘어져야 한다. 하지만 현재 기술로는 10mm 너비 이하로는 회로 구현이 어려웠다. 비용과 각종 화학약품도 문제였다. 개발한 블록 공중합체는 자기조립을 통해 스스로 주기적인 나노 패턴을 형성하는데 이 성질을 이용하면 초미세 패턴도 만들 수 있다. 연구진은 나노 모자이크 코팅 기술로 블록 공중합체 박막의 계면을 정확하고 정교하게 통제, 블록 공중합체 나노 패턴을 얻는 데 성공했으며, 16개 종류 기판에 나노 모자이크를 코팅해 블록 공중합체 나노 패턴을 얻는 데 성공했다. 또 미세한 피라미드나 원통 형태 기판에도 나노 모자이크 코팅을 적용해 3차원 나노 패턴을 만들었다.

한줄요약 : 우리나라의 울산 연구진이 미세 패턴 제어기술을 개발했다.

댓글 남기기

이메일은 공개되지 않습니다. 필수 입력창은 * 로 표시되어 있습니다